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真空炉系列

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化学气相沉积炉系列

  • 化学气相沉积炉系列:

  • 发布日期:2020-07-24
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详细介绍

1、化学气相沉积炉系列—电阻加热方式主要技术参数


整个炉子包括:电炉本体、真空系统、加热及保温系统、温度测量与控制系统、水冷系统、气动系统、可控硅调压电源、液压升降进出料系统、气体流量控制系统及尾气处理系统、自动控制系统、炉架及工作平台等。


2、化学气相沉积炉系列—感应加热方式主要技术参数



整个炉子包括:电炉本体、真空系统、加热及保温系统、温度测量与控制系统、水冷系统、气动系统、中频电源、液压升降进出料系统、自动控制系统、炉架及工作平台等。


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